金融界2025年7月29日消息，国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“载物台”的专利，公开号CN120390982A，申请日期为2023年11月。

专利摘要显示，一种可用于光刻设备中的载物台。载物台包括静电夹具，该静电夹具包括设置在绝缘层之间的至少一个电极。载物台还包括第二夹具，其包括电连接的突节阵列，突节包括在突节的物体接收表面处的电阻材料层。